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在许多高纯气体的应用中,如半导体行业,气体的残留水分对于工艺操作的影响是至关重要。
过往一段时间,微量水分测量一直是一个难题,需要使用复杂的水分分析仪或昂贵的分析技术。现在,推出了一款简单、经济的产品,可以在线测量低至-120 °C (-184 °F) (小于1 ppb) 露点。
产品概述
Pura 变送器的优势在于金属氧化物陶瓷湿度传感器生产和校准方面的经验与专长。工业标准的材质和生产过程结合,使得这款低成本变送器适合大规模集成到半导体制造厂或高纯气体管线中。Pura产品系列为纯气微水应用提供稳定、可靠和可重复的水分测量。

特点
• 测量低至 -120 °Cdp (-184 °Fdp) (1ppbV)
• 稳定且可重复测量
• 响应快速
• Modbus RTU 基于 RS485 通信
• 4...20 mA 2 线
• 可追溯至 7 点校准证书
• 1/2”, 1/4” 外螺纹 VCR 过程连接
• 可选监视器/控制器
• MiniDIN 43650 C,M12 电气连接
• 可选危险区域认证
• 服务交换计划

186-1523-0752
0531-88975421








